AES俄歇电子能谱仪

俄歇电子能谱仪（Auger Electron Spectrometer, AES）为微电子业常见的表面分析技术之一，纳米探针俄歇扫描 提供高性能的俄歇（AES）频谱分析、俄歇成像和溅射深度分析的复合。俄歇纳米探针提供了实用和成熟的技术，以满足纳米尺度所需要的广泛实验与研发的用途。应用材料包括：纳米材料，催化剂，金属和电子设备。