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AES俄歇电子能谱仪

俄歇电子能谱仪(Auger Electron Spectrometer, AES)为微电子业常见的表面分析技术之一,纳米探针俄歇扫描 提供高性能的俄歇(AES)频谱分析、俄歇成像和溅射深度分析的复合。俄歇纳米探针提供了实用和成熟的技术,以满足纳米尺度所需要的广泛实验与研发的用途。应用材料包括:纳米材料,催化剂,金属和电子设备。